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光学轮廓显微镜
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纳米白光干涉仪 表面细微三维形貌测量系统基于白光干涉仪原理、结合Z向精密压电扫描模块和三维重建算法准确获 得各种精密器件和材料表面形貌数据,适用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多种表面测量求,能够实现纳米级精度测量、重构表面形 貌3D轮廓。
产品型号:PZ-Mico D
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3D光学轮廓测量仪使用Sensofar技术开发的neox光学轮廓仪,其共聚焦部分的主要优点是有着*发光效率的照明硬件和高对比度算法。这些特点使系统成为测量有着陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有异种材料样品的理想设备。高品质干涉光学系统和集成压电扫描器是干涉轮廓仪部分的关键。这项技术对于测量非常光滑至适度粗糙的表面比较理想。这些技术的组合为neox轮廓仪提供了无限宽广的应用领域。
产品型号:PZ-3000S
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3D光学轮廓显微镜使用光学轮廓仪,集成了共聚焦计数和干涉测量技术,并具有薄膜测量能力,该系统可以用于标准的明场彩色显微成像,共焦成像,三维共焦建模,PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度测量。
产品型号:PZ-3010D
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